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压电扫描台应用于飞秒激光微加工

现在,各种激光器已经被广泛应用于各个工业及医疗领域,而飞秒激光作为微加工等领域的理想光源,正逐渐引发市场的高度关注。

飞秒激光微加工的过程是将被加工的目标元件固定在压电扫描台上,将激光光束聚焦在准备加工的轨迹始端,调节激光能量,按照预先设计好的轨迹移动二维压电扫描台进行加工,由于压电扫描台的分辨率可达到纳米级,精度非常高,所以这能大大提高飞秒激光加工系统的加工精度。

 

飞秒激光结合高精度压电扫描台加工各种材料的微加工方式,作为激光加工技术领域的一个分支越来越受到广泛的关注。其中芯明天自主研发生产的高精度压电扫描台以其精度高、性能稳定等特点已被广泛应用于激光加工领域。

芯明天P17系列二维压电扫描台

 

P17 系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY 轴210μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有超高的导向精度。

特点:

· XY轴二维运动

· 位移可达210μm/轴

· 通孔尺寸60×60mm

· 分辨率达5nm

· 承载可达1kg

· 闭环重复定位精度高

推荐压电控制器

芯明天E70系列压电控制器,既可保证快速的响应时间,又可保证扫描台的工作稳定性,同时,E70控制方式采用模拟与数字控制,可与计算机连接,方便操作。

 

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