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压电平台-N12系列

N12 系列压电扫描台为 1~3 维并联式平移扫描台,台体中心方形通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点,平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现满行程 0.04% 的重复定位精度。

特点

• 位移 110μ• 承载能力 0.7kg • 台体中心方形通孔 45×45mm • 闭环重复定位精度高 • 开 闭环可选

1~3维扫描台

    N12系列压电扫描台包含XZXYXZXYZ五种规格型号,外观相同。

典型应用 

• 扫描显微 • 共焦显微 • 晶圆定位

• 表面测量 • 图像处理与稳定 • 半导体测试

小体积、大位移、中心通孔

N12 系列纳米定位台体积非常小巧,位移可达 110μm。独特的平行运动学设计原理,使得平台可以实现 XYZ 轴高速精密运动。这款产品的应用非常广泛,从光学研究到工业化OEM系统等。

该系列压电扫描台的通光孔为 45×45mm,高刚度。

闭环传感定位精度高

N12 系列压电扫描台配置高分辨率传感器,对位置实时检测并反馈到压电控制器,控制器通过 PID 算法调整电压修正位移,从而实现高精度定位。

N12.XYZ 压电扫描台配套芯明天 E72 系列模块化控制器应用于光学显微成像,实现XYZ 轴精密扫描。

闭环定位精度

 

 

N12.XYZ100S 线性度与重复度实测曲线

频率负载曲线

开 / 闭环曲线

技术参数 

型号:N12.XYZ100S

运动自由度:X、YZ

行程范围(0~120V):80μm/ 

行程范围(-20~150V):110μm/ 

传感器类型:SGS

通孔尺寸:45×45mm

闭/开环分辨率:7nm

闭环线性度:0.15%F.S

闭环重复定位精度:0.1%F.S

俯仰/偏航 滚动:<20μrad

推/拉力:20N

运动方向刚度:X0.3/Y0.25/Z0.2N/μm

空载谐振频率:X200Hz/Y150Hz/Z120Hz

闭/开环空载阶跃时间:30ms/0.8ms

承载0.5kg

静电容量:1。8μF

材质:钢、铝

重量:350g

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