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芯明天压电陶瓷驱动微定位偏摆台

压电陶瓷驱动微定位偏摆台在微纳米技术领域应用广泛,通常是所应用系统中的关键部件。芯明天压电偏摆台通过压电陶瓷为驱动源,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,进行精密角度调整,具有体积小巧、结构紧凑、无机械摩擦、定位精度高等优点,确保了产品具有良好的偏转精度和稳定性且响应速度快,在激光光束扫描以及激光合束等领域拥有广泛应用前景。

P54系列压电偏摆台

芯明天P54压电偏摆台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特点:

·  θx, θy偏摆运动

·  开环/闭环可选择

·  80×80mm大通孔

·  分辨率高

·  外形薄

闭环传感精度高:

P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使角度偏移达到最小,无空回、无摩擦。

采用压电陶瓷驱动实现最大偏转范围±1mrad,分辨率高达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。

台体非常薄,厚度仅为20mm,中心通孔尺寸为80×80mm,广泛应用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等领域。

负载大镜片:

P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,非常适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

频率负载曲线:

阶跃时间:

P54.T2S压电偏摆台,空载时到达满行程的阶跃时间约20ms。

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