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产品名称:芯明天放大机构式压电纳米定位台

产品型号:P11

产品报价:

产品特点:芯明天放大机构式压电纳米定位台 一维压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台,X 轴,XY 轴,XYZ 轴多维压电平移台,驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下,机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍

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P11芯明天放大机构式压电纳米定位台的详细资料:

1.芯明天放大机构式压电纳米定位台

吉林11选5YADIANNAMIDINGWEITAISHIYIYADIANTAOCIZUOWEIJICHUYUANJIANQUDONGDEYADIANPINGYITAI,X ZHOU,XY ZHOU,XYZ ZHOUDUOWEIYADIANPINGYITAI,QUDONGXINGSHIBAOHANYADIANTAOCIZHIQUSHIYIJIJIJIGOUFANGDASHILIANGZHONGQUDONGXINGSHI。XIANGTONGQUDONGDIANYAXIA,JIGOUFANGDAPINGTAIDEWEIYISHIZHIQUPINGTAIWEIYIDEJIBEIZHIJISHIBEI;ZHIQUPINGTAIDEXIANGYINGSUDUYAOBIJIGOUFANGDAPINGTAIDESUDUKUAI。YADIANPINGYITAIDEYUNDONGXINGCHENGFANWEIzuiDAKEDA 300μm,QIETAJUYOUNAMIJIFENBIANLVYIJIHAOMIAOJIDEXIANGYINGSHIJIAN。ZAIJINGMIDINGWEILINGYUZHONGFAHUIZHEZHIGUANZHONGYAODEZUOYONG,QIEYINGYONGFEICHANGGUANGFAN,LIRUXIANWEISAOMIAO、GUANGLUDIAOZHENG、NAMICAOKONGJISHU、CCD TUXIANGCHULI、JIGUANGGANSHE、NAMIGUANGKE、SHENGWUKEJI、GUANGTONGXIN、NAMICELIANG、XIANWEICAOZUO、NAMIYAYINDENG。

 

2.芯明天放大机构式压电纳米定位台p11’

P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,P11.Z为一维压电纳米定位台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有良好的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。

 

 3.一维压电纳米定位台特性

• 一维Z轴运动                   • zui大行程110μm,可选择210μm、320μm版本                  

 • 体积小巧                       • 毫秒级响应时间                   •  纳米级定位精度

 

外观形状

产品运动示意图

放大机构式驱动示意图

 

大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快

 P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维110μm的精密运动。

该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本, 闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。

P11系列压电纳米定位台的响应速度非常快,配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。

 

原子力探针扫描显微镜

      应用

      • 光纤定位/光学扫描     • 纳米压印     • 纳米计量     •微操控       • 纳米定位

      • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位     •生物技术/半导体技术     •质量保证测试

      • 微加工/精密控制

 

 

 

 

 

 

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