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产品名称:芯明天放大机构式压电位移台

产品型号:P79Z

产品报价:

产品特点:P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的移动范围可达210µm,定位分辨率可达3nm。

P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用,在宏动平台进行样品位置的粗调后,再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整,定位精度达纳米量级。

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P79Z芯明天放大机构式压电位移台的详细资料:

P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的移动范围可达210µm,定位分辨率可达3nm。

P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用,在宏动平台进行样品位置的粗调后,再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整,定位精度达纳米量级。

 

两款规格型号、开环/闭环可选

P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择,分别为110μm及210μm,可根据精确调整的运动范围进行选择。

另外,P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快,且分辨率更高;对于有定位精度及稳定性需求的应用,可以选择配置SGS闭环传感器,装配在平台zui适合的位置,提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移,确保了定位精度。

 

特性

• 一维Z向运动,zui大行程210μm            • zui大承载2kg          • 通孔尺寸:128.5×86.5mm                  

• 开环、闭环可选                                 • 闭环重复定位精度高

 

外观形状

产品运动示意图

台体采用机构放大式驱动设计,行程范围大

 

大通孔、快速聚焦、Z向捕获、超精密导向机构

频率负载曲线

表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命

P79系列压电扫描台具有方形通孔,通孔尺寸为128.5×86.5mm,这种大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构,如多井控制盘。

压电陶瓷驱动以及无摩擦柔性铰链结构使其具有超快的响应速度,Z轴步进速度和稳定时间仅为马达驱动的1/20,大大提高了成像捕获能力和生产能力。

压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷,陶瓷抵抗外部环境的能力非常高且无漏电现象。

 

应用

       • 荧光显微  • 共焦显微  • 精密定位/样品检测  •光学捕获  • 扫描显微  • 干涉/计量  • 自动聚焦系统  • 表面检测/3D成像  • 光学计量  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜  • 掩模/晶圆定位  • 生物科技

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