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产品名称:芯明天放大机构式压电扫描台

产品型号:P17

产品报价:

产品特点:P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可 靠性压电陶瓷,可以实现XY轴210μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

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P17芯明天放大机构式压电扫描台的详细资料:

   P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可 靠性压电陶瓷,可以实现XY轴210μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

P17压电扫描台特性

•最大位移210μm

• 最大承载1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

XY二维扫描台

      P17二维压电扫描台中心大通孔,满行程位移210μm。

大通孔、大行程、稳定性好、响应速度快

   P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度 扫描台,可以实现XY轴210×210μm的位移行程,优异 的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、最快的 响应时间可达5毫秒。

    闭环版本采用高精度的传感反馈,与E00/E01系列 闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心 60×60mm大通孔,适合工业自动化中的晶圆定位或微 操作等应用。

P17压电扫描台典型应用

• 图像处理与稳定    
• 扫描显微
• 干涉/计量    • 表面检测
• 晶圆定位    • 微操作

应用实例
    P17系列压电扫描台适用于需要大行 经成功应用于半导体测试、表面结构分析 天压电物镜定位器配套用于晶圆定位,可带动晶圆做XY轴210μm行程范围的纳米级精密定位。

P17压电扫描台技术参数:

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P17.XY200S P17.XY200K

 

单位

运动自由度

X、Y

 

标称行程范围(0~120V)

150/轴

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

210/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

闭/开环分辨率

8/5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F。S。

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

µrad

推/拉力

40/15

N

运动方向刚度

X0.2/Y0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

X240/Y400

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

10

最大承载

1

kg

静电容量

3.6/轴

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

660

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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