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产品名称:芯明天放大机构式压电扫描台

产品型号:P78Z

产品报价:

产品特点:P78压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm,放大机构内置高性能压电陶瓷,可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程,优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度,适用于需要大行程精密定位的应用领域。

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P78Z芯明天放大机构式压电扫描台的详细资料:

     P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm,放大机构内置高性能压电陶瓷,可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程,优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度,适用于需要大行程精密定位的应用领域。

P78压电扫描台特性:

 Z轴运动           开环闭环可选         最大行程300μm     闭环重复定位精度高   

典型应用           

• 显微成像 • 表面检测

• 干涉/计量 • 精密定位

• 生物技术 • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。

P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器,对位移实现 实时监测并反馈给闭环压电控制器,实现纳米级精密控制。扫 描台台体中心通孔尺寸64×64mm,适用于干涉、扫描、表面 检测等应用。

闭环重复定位精度高

P78。 Z压电扫描台满幅值300μm的闭环重复定位精度为 0。05%。

P78压电扫描台技术参数:

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P78.Z200S P78.Z200K

 

P78.Z300S P78。Z300K

 

单位

运动自由度

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V)

150

210

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

210

300

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

64×64

64×64

mm

闭/开环分辨率

7/3

10/5

nm

闭环线性度

0。1/-

0。15/-

%F。S。

闭环重复定位精度

0。04/-

0。05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

<30

µrad

推/拉力

50/8

30/5

N

运动方向刚度

0.35

0。15

N/μm±20%

空载谐振频率

300

150

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

15/3。2

30/3。2

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

80

50

 

Hz±20%

100%行程

15

10

最大承载

1.5

0.5

kg

静电容量

7.2

7。2

μF±20%

材质

 

重量

340

340

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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