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产品名称:一维X轴压电纳米定位台

产品型号:P66

产品报价:

产品特点:P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

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P66一维X轴压电纳米定位台的详细资料:

  P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

典型应用

•  干涉/ 扫描 • 计量

• 质量保证测试 • 微加工/精密控制

• 光盘驱动测试 • 半导体技术

应用实例:原子力探针扫描显微镜

  芯明天P66。XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可 靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

特性:

• 最大位34μm• 开环闭环可选 • 最大承载5kg• 重复定位精,可达纳米级• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

   P66系列压电纳米定位台包括X、XY、XZ、XYZ 多种规格型号,可以实现1-3维纳米级精密运动与定 位。

开环与闭环版本可选

   P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版 本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快 速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合 适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信 号。

   传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该系列 纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复 度。

P66一维X轴压电纳米定位台技术参数;

 

 

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P66。X30S

P66。X30K

P66.XY30S

P66。XY30K

P66.XYZ30S

P66.XYZ30K

 

单位

运动自由度

X

X、Y

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

24

24/轴

24/轴

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

34

34/轴

34/轴

吉林11选5μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

1。5/0。7

1.5/0.7

吉林11选51。5/0。7

nm

闭环线性度

0。05/-

0.05/-

0.1/-

%F。S。

闭环重复定位精度

0.05/-

0。05/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

<15

<15

µrad

推/拉力

150/15

120/15

80/15

N

运动方向刚度

5

X4/Y4。2

X2。8/Y3/Z3。2

N/μm±20%

空载谐振频率

2.6

X1.1/Y1.8

X1。2/Y0。8/Z0。5

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/0.8

5/0。8

10/0.8

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

500

260

150

 

Hz±20%

100%行程

50

25

15

最大承载

5

4.5

3。5

kg

静电容量

3.6

3.6/轴

3.6/轴

μF±20%

材质

 

重量

120

260

500

g±5%

 

吉林11选5以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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